4중극자 질량 분석기를 사용한 가스 및 잔류 가스 분석

사중극자 질량 분석기(QMS)에는 다양한 구성과 주변 장치가 있으며 요구 사항에 따라 적용 영역에 맞게 특별히 선택할 수 있습니다.

장치 선택을 위한 중요한 결정 기준은 다음과 같습니다.

• 압력 범위 및 관련 설계

• 분석 성능(여기에는 검출할 질량, 분해능, 검출 한계, 측정 속도가 포함됩니다)

압력 범위가 설계에 미치는 영향

검사할 가스는 진공 챔버에서 펌핑하여 낮은 압력으로 감소되고 전자 충격에 의해 이온화됩니다. 이렇게 생성된 이온은 질량 대 전하 비율에 따라 매스 필터에서 분리됩니다. 고진공은 이러한 공정의 필수 요구 사항입니다. 따라서 가스를 분석할 압력 범위에 따라 일반적으로 설계가 결정됩니다.

적용분야

이미 압력이 낮아서 분자 흐름이 있는 영역에 있는 경우 필요한 정확도에 따라 압력을 더 이상 낮출 필요가 없을 수도 있습니다. 이를 진공 시스템의 잔류 가스 분석 이라고 합니다 . 예를 들어 , 검사할 가스가 대기압에 있는 경우 압력을 낮추기 위한 구성 요소가 필요합니다. 이를 대기압에서의 가스 분석 이라고 합니다 .

검출할 질량

적용 영역에 대해 어떤 질량을 찾아야 합니까? 가장 작은 적합한 질량 범위를 선택해야 합니다. 질량 범위가 작을수록 감도(신호)가 향상됩니다.

측정 속도

측정 속도는 분석 작업에 따라 조정될 수도 있습니다(예: PrismaPro의 경우 최소 1ms에서 최대 16s 까지). 측정 속도는 노이즈(신호와 배경 모두)의 양에 영향을 미칩니다.

감지기

작동 압력에 따라 다양한 감지기가 사용됩니다.

패러데이 /C-SEM 검출기(M) 만큼 낮을 필요는 없습니다 . 그러나 이는 검출 한계에 직접적인 영향을 미칩니다. 정확한 숫자는 특히 체류 시간과 사용된 이온 소스에 따라 달라지며, 이에 대한 정보는 당사 브로셔에서 확인할 수 있습니다.

구성 가능한 RGA 시스템

모든 테스트 작업은 다릅니다. 표준 OmniStar / ThermoStar 솔루션 외에도 당사의 전문가 팀은 파이퍼 베큠의 모든 제품에 접근하고 이를 사용하여 귀하의 요구 사항에 가장 적합한 시스템을 구성합니다. 한 가지 예는 OmniGrade 라고 불리는 RGA 청정도 검증 시스템입니다 . 사중극자 질량 분석기, 진공 펌프, 챔버 및 기타 개별 구성 요소와 같은 개별 구성 요소를 선택할 뿐만 아니라 맞춤형 턴키 솔루션의 총 운영 비용과 배송 시간도 고려됩니다. 당사의 전문 지식을 통해 불필요한 노력을 최소화하면서 필요한 정밀도로 테스트 결과를 얻을 수 있도록 도와드립니다.

하드웨어 연결

장치 통합을 위해 다음 하드웨어 연결을 사용할 수 있습니다. Prisma Pro 에는 DN 40 CF 플랜지, HiQuad 가 장착되어 있습니다. DN 63 CF가 포함된 Neo , 그리고 다양한 응용 분야의 요구 사항을 충족하기 위해 각각 모세관 호스 또는 적합한 어댑터 1/4"/DN 16 ISO-KF가 포함된 OmniStar 및 ThermoStar가 있습니다.

지원 및 서비스

우리는 다양한 응용 분야를 담당하는 전문가를 보유하고 있습니다. 올바른 장비 선택에 대한 조언을 제공하고, 측정 방법에 대한 질문에 대한 도움을 주거나, 기타 질문에 대한 도움을 드릴 수 있습니다. 지원 외에도 장치에 대한 서비스도 제공합니다. 이것에 대해 이야기하고 싶습니까?